OptoSURF

Profilomètre optique interférométrique plein champ conçu sur une base microscope par réflectance. Ce profilomètre propose plusieurs modes de mesure, de l’interférométrie à décalage de phase, à balayage de franges, ou confocal selon les états de surface ou les structures à mesurer. Un logiciel prend en charge l’acquisition et l’analyse des données 3D de surface ( visualisation, rugosités, défauts etc.)

Ce système se décline selon plusieurs versions pour petits ou grands, voire très grands échantillons avec des degrés d’automatisme plus ou moins complet.

La plage de mesure en Z va du dixième de nanomètre à la centaine de microns selon le mode de mesure utilisé.