Techniques
Mode Phase
L'interférométrie à décalage de phase permet de décaler, à l'aide d'un déplacement en Z (généralement un PZT), les franges d'interférences de manière à obtenir plusieurs images de franges et d'en déterminer la phase en chaque point. Cette méthode apporte une résolution sub-nanométrique.
Mode Wave
Similaire au mode phase, aussi appelé à balayage de franges, il permet de décaler les franges sur une gamme de profondeur plus importante. Les ambiguïtés dues à la rupture d'une continuité de franges sur l'image sont levées. La résolution théorique de ce mode est équivalente au mode phase.
Mode Confocal
Technique utilisant la modulation de franges d'interférence produite par un signal optique couplé avec un balayage vertical. Cette technique permet d'obtenir une résolution en Z proche d'une fraction de la longueur d'onde utilisée (soit 10 nm environ) sur une profondeur de plusieurs dizaines de microns. La zone mesurée est sous forme d'une surface qui varie de quelques centaines de microns au millimètre carré selon l'objectif utilisé.