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Applications
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Etats de surface : super poli optique, semi-conducteur
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Micro structures : métaux, polymères, plastics, textile, papier
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Ex-Vivo : cheveux, ongles
Avantages
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Un résolution sub-nanométrique
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Multiple mode de mesure
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Adaptable à toute taille d'échantillons
Caractéristiques produit
Grossissement |
5X |
10X |
20X |
50X |
Surface de mesure (mm²) 5Mp/1.6Mp |
1.68 x 1.0 / 1.0 x 0.74 |
0.84 x 0.69 / 0.5 x 0.37 |
0.42 x 0.34 / 0.25 x 0.14 |
0.17 x 0.14 / 0.1 x 0.07 |
Profondeur de champ (µm) |
27 |
3.06 |
1.71 |
0.9 |
Distance de travail (mm) |
9 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
Résolution optique (µm) |
2.1 |
0.9 |
0.69 |
0.5 |
Echantillonnage latéral (µm) |
0.7 |
0.34 |
0.17 |
0.06 |
Répétabilité mode Phase (nm) |
1 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
Répétabilité mode Wave (nm) |
2 |
1 |
1 |
1 |
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MiniSURF
Le MiniSURF est un profilomètre optique plein champ compact pour la mesure de microstructures et états de surface sur de petits échantillons.