Applications
- Etats de surface : super poli optique, semi-conducteur
- Micro structures : métaux, polymères, plastics, textile, papier
- Ex-Vivo : cheveux, ongles
Avantages
- Un résolution sub-nanométrique
- Multiple mode de mesure
- Adaptable à toute taille d'échantillons
Caractéristiques produit
| Grossissement | 5X | 10X | 20X | 50X |
| Surface de mesure (mm²) 5Mp/1.6Mp | 1.68 x 1.0 / 1.0 x 0.74 | 0.84 x 0.69 / 0.5 x 0.37 | 0.42 x 0.34 / 0.25 x 0.14 | 0.17 x 0.14 / 0.1 x 0.07 |
| Profondeur de champ (µm) | 27 | 3.06 | 1.71 | 0.9 |
| Distance de travail (mm) | 9 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
| Résolution optique (µm) | 2.1 | 0.9 | 0.69 | 0.5 |
| Echantillonnage latéral (µm) | 0.7 | 0.34 | 0.17 | 0.06 |
| Répétabilité mode Phase (nm) | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| Répétabilité mode Wave (nm) | 2 | 1 | 1 | 1 |
Documentation
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