OptoSURF

Le système OptoSURF est un profilomètre optique plein champ haute résolution et modulaire pour la mesure de microstructures et états de surface.

Cette station de mesure peut être adaptée à l’application et à la taille de l’échantillon avec des degrés d’automatisme plus ou moins complets.

Il permet de caractériser aussi bien les surfaces super polies (semi-conducteur et optique) que les surfaces structurées (métal, plastique, ongles, cheveux…).

Le logiciel OptoSURF prend en charge l’acquisition et l’analyse des données 3D de surface : rugosité, porosité, densité de motifs de structures, détection et classification de défauts…

Véritable outil d’aide au suivi de procédé de fabrication, il répond aux exigences de la métrologie fine des états de surfaces.

Applications

Etats de surface : super poli optique, semi-conducteur
Micro structures : métaux, polymères, plastics, textile, papier
Ex-Vivo : cheveux, ongles

Avantages

Un résolution sub-nanométrique
Multiple mode de mesure
Adaptable à toute taille d'échantillons

Caractéristiques produit

Grossissement	5X	10X	20X	50X
Surface de mesure (mm²) 5Mp/1.6Mp	1.68 x 1.0 / 1.0 x 0.74	0.84 x 0.69 / 0.5 x 0.37	0.42 x 0.34 / 0.25 x 0.14	0.17 x 0.14 / 0.1 x 0.07
Profondeur de champ (µm)	27	3.06	1.71	0.9
Distance de travail (mm)	9	7.4	4.7	3.4
Résolution optique (µm)	2.1	0.9	0.69	0.5
Echantillonnage latéral (µm)	0.7	0.34	0.17	0.06
Répétabilité mode Phase (nm)	1	0.5	0.5	0.5
Répétabilité mode Wave (nm)	2	1	1	1

Documentation

Documentation OptoSURF

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Caractérisation des états de surface

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