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Mesure d’état de surface

Techniques

Mode Phase

L'interférométrie à décalage de phase permet de décaler, à l'aide d'un déplacement en Z (généralement un PZT), les franges d'interférences de manière à obtenir plusieurs images de franges et d'en déterminer la phase en chaque point. Cette méthode apporte une résolution qui est un fraction de la longueur d'onde utilisée et permet de connaitre le signe de la déformation des franges

Mode Wave

Similaire au mode phase, aussi appelé à balayage de frange, ce mode décale les franges sur une gamme de profondeur plus importante et permet de lever des ambiguïtés dues à la rupture d'une continuité de franges sur l'image. La résolution théorique de ce mode est équivalent au mode phase.

Mode confocal

Basé sur le contraste des franges durant le balayage, ce mode permet de mesurer des structures beaucoup plus complexes. La résolution est ici donné par le pas de mesure en Z ( entre 10 et 50 nm)