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Mesure d’état de surface

Techniques

Mode Phase

L'interférométrie à décalage de phase permet de décaler, à l'aide d'un déplacement en Z (généralement un PZT), les franges d'interférences de manière à obtenir plusieurs images de franges et d'en déterminer la phase en chaque point. Cette méthode apporte une résolution sub-nanométrique.

Mode Wave

Similaire au mode phase, aussi appelé à balayage de franges, il permet de décaler les franges sur une gamme de profondeur plus importante. Les ambiguïtés dues à la rupture d'une continuité de franges sur l'image sont levées. La résolution théorique de ce mode est équivalente au mode phase.

Mode confocal

Basé sur le contraste des franges durant le balayage, ce mode permet de mesurer des structures beaucoup plus complexes. La résolution est ici donnée par le pas de mesure en Z ( entre 10 et 50 nm).